閱讀 | 訂閱
                    閱讀 | 訂閱
                    紅光獎專欄

                    大族激光顯視與半導體裝備事業部
                    入圍:激光微加工系統創新貢獻獎

                    來源:激光制造網2021-04-13

                    全自動晶圓激光開槽設備

                    用于帶Low-K材料或金屬鍍層的晶圓,在晶圓表層開槽,以便于后續切割


                    QQ圖片20210414002052.png


                    技術參數

                    波長


                    使用激光器類型

                    綠光皮秒激光器

                    脈沖能量


                    脈寬


                    功率

                    激光器輸出>=20W

                    能耗


                    加工指標

                    加工范圍

                    8inch、12inch

                    一致性


                    加工形式


                    加工效率


                    系統集成方案


                    自動化程度

                    全自動


                    產品特點

                    采用超短脈寬激光加工,有效提升開槽效果;

                    整合多種激光微加工技術,切割效率和工藝窗口兼備;

                    采用復合多光路加工模組,多種切割功能任意組合切換;

                    具備自動上下料功能,無人值守全自動運行,批量化生產;

                    高精度視覺檢測系統,保障劃痕位置。


                    產品創新

                    在行業設備無國產替代,國外設備市場及技術雙壟斷的情況下,基于完全自主開發,迅速開發出國內首臺高效高精密度的對應設備,并實現了此設備的客戶端量產化,工藝上領先于國外水準。

                    CN 110064841 A(審核中)

                    CN 107378259 A(審核中)

                    CN 110091075 A(審核中)

                    CN 209148979 U(已收到證書,如下附件)

                    QQ圖片20210414002253.png


                    市場情況

                    1.自主研發的先進光路整形系統,極大提升整體工藝效果,達到同類設備領先水平;

                    2.突破性的使用綠光皮秒激光器,成功打破國外品牌的技術壁壘;

                    3.精確的軟件開關光控制系統,可以實現多種芯片晶圓(MPW)的一次性切割

                    在當前同類設備無國產替代,進口設備壟斷整個行業的情況下,通過自主研發,成功于2018年推出的首臺國產自主開發low k晶圓開槽設備,填補了國內此類設備的空白。


                    排行榜
                    偷柏自拍亚洲综合图片15P,2018亚洲动漫图片区,国产啪香蕉精品视频天天看,视频二区学生系列知名国产职场同事,国产不卡一区二区三区97,成 人3d动漫在线观看,亚洲精品国产品国语在线App,2019年国产成人精品,国产剧情麻豆女教师在线观看,免费视频在线观看福利一区,九九九中文无码AV在线播放#$%